产品信息

NM NTE-3000台式和NTE-3500紧凑型独立式热蒸镀系统在有机物和金属蒸镀方面有着广泛应用。系统具有占地面积小、干净、均匀、可控以及可重复的优势。可满足客户研发和小规模生产的要求。设计使得该系统可达到恒定的沉积速率，其中RMS电流通过闭环控制，沉积速率的偏差被用于调节RMS电流。

NTE-4000是独立式热蒸镀系统，提供更多空间实现额外功能，比如共蒸镀，双蒸镀能力(热蒸镀及电子束蒸镀)和溅射能力。 NTE-1000为单蒸发源台式系统。

特点：

  · 支持5”方片和200mm圆片

  · 可控的沉积速率

  · 旋转/加热/冷却样品台

  · 多柑锅/舟

  · 2KVA SRC控制电源

  · 磁控溅射能力支援(可选)           

  · Labview软体和触控式萤幕PC，全自动工艺

  · 配套膜厚监测仪，达到目标膜厚系统自动停止工艺

  · 一键自动启动/关闭涡流分子泵和机械泵，无误操作隐患

  · 手动放片（可升级为自动上片功能，单片或25片Cassette）