Sigma 产品系列支持 100 毫米至 300 毫米的晶圆尺寸，涵盖 PVD ​​到 MOCVD

以高度可重复的气相沉积替代方法取代了传统的液体涂层工艺，非常适合制造应用

PECVD是一种利用等离子体内的能量在晶片表面引发反应的过程