产品信息

应用：

  · 光学涂覆

    溅射

    IBAD离子束辅助沉积

  · 反应离子束刻蚀清洗

  · 离子铣

  · 红外涂覆

  · 表面处理

特点：

  · RF偏压样品台

  · 厚度监测器

  · 5×10-7Torr极限真空

  · 高精度并高重复性

  · 高品质薄膜

  · 原子级清洗和抛光

  · 自动上下载片

  · 两个腔体之间自动传送

  · 占地面积46”D×44”W

  · 基于LabVIEW软体的PC控制

  · 菜单驱动/密码保护/安全联锁

选项：

  · 共溅射，DC，RF和脉冲电源

  · 离子束辅助沉积

  · 电子束源

  · 等离子源

NANO-MASTER NOC-4000双腔光学涂覆系统为光学样品提供离子束刻蚀/离子铣和溅射涂覆处理。样品在第一个离子束腔体内清洁/抛光后，自动传送到第二个腔体内溅射涂覆，无需中断真空。