产品信息


RIE反应离子刻蚀/PVD双系统
NIR-4000型IBE离子束刻蚀/RIE反应离子刻蚀双系统
NSP-4000 PECVD/溅射双系统
NRP-4000 ICP PECVD/RIE双系统(自动上下载片)